合金靶材
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  • [行業新聞] 合金靶材的(de)濺射原理(lǐ)

    合金靶材的(de)濺射原理(lǐ)：對濺射類鍍膜，可(kě)以簡單理(lǐ)解為(wèi)利用電子(zǐ)或高(gāo)能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子(zǐ)團或離(lí)子(zǐ)形式被濺射出來，并且最終沉積在基片表面，經曆成膜過程，最終形成薄膜。濺射鍍膜又分為(wèi)很多種，總體看，與蒸發鍍膜的(de)不同點在于濺射
    發布時間：2016-03-29   點擊次數：428

  • [技術中心] 合金靶材濺射靶材使用指南及注意事項

    一(yī)、濺射準備保持真空腔體尤其是濺射系統潔淨是非常重要的(de)。任何由潤滑油和(hé)灰塵以及前期鍍膜所形成的(de)殘留物會收集水氣及其他污染物，直接影響真空度獲得和(hé)增加成膜失敗的(de)可(kě)能性。短(duǎn)路或靶材起弧，成膜表面粗糙及化學(xué)雜質含量超标經
    發布時間：2016-03-29   點擊次數：1359

  • [技術中心] 合金靶材-背靶使用指南

    一(yī)、背靶材料無氧銅(OFC)–目前最常使用的(de)作背靶的(de)材料是無氧銅，因為(wèi)無氧銅具有良好的(de)導電性和(hé)導熱性，而且比較容易機械加工。如(rú)果保養适當，無氧銅背靶可(kě)以重複使用10次甚至更多。钼(Mo)–在某些使用條件比較特殊的(de)情況下，如(rú)
    發布時間：2016-03-29   點擊次數：304

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