1.氧化物:一(yī)氧化矽靶材，SiO靶材,二氧化矽靶材，SiO2靶材,二氧化钛靶材，TiO2靶材,二氧化锆靶材，ZrO2靶材,二氧化铪靶材，HfO2靶材,一(yī)氧化钛靶材，TiO靶材,五氧化三钛靶材，Ti3O5靶材，五氧化二铌靶材，Nb2O5靶材，五氧化二钽，Ta2O5靶材,氧化钇靶材，Y2O3靶材等高(gāo)純氧化物鍍膜材料。
2.氟化物：氟化钕靶材，NbF3靶材,氟化鋇靶材，BaF2靶材，氟化铈靶材，CeF3靶材，氟化鎂靶材，MgF2靶材，氟化镧靶材，LaF3靶材，氟化钇靶材YF3靶材，氟化镱靶材，YbF3靶材，氟化铒靶材，ErF3靶材等高(gāo)純氟化物。
3.其它化合物：硫化鋅靶材，ZnS靶材，硒化鋅靶材，ZnSe靶材，氮化钛靶材，TiN靶材，碳化矽靶材，SiC靶材，钛酸镧靶材，LaTiO3靶材，钛酸鋇靶材，BaTiO3靶材，钛酸锶靶材，SrTiO3靶材，钛酸镨靶材，PrTiO3靶材，硫化镉靶材，CdS靶材等真空鍍膜材料。
4.金屬鍍膜材料：高(gāo)純鋁靶材，Al靶材，高(gāo)純銅靶材，Cu靶材，高(gāo)純钛靶材，Ti靶材，高(gāo)純矽靶材，Si靶材，高(gāo)純金靶材，Au靶材，高(gāo)純銀靶材，Ag靶材，高(gāo)純铟靶材，In靶材，高(gāo)純鎂靶材，Mg靶材，高(gāo)純鋅靶材，Zn靶材，高(gāo)純鉑靶材，Pt靶材，高(gāo)純鍺靶材，Ge靶材，高(gāo)純鎳靶材，Ni靶材,高(gāo)純金靶材，Au靶材，金鍺合金靶材，AuGe靶材，金鎳合金靶材，AuNi靶材，鎳鉻合金靶材，NiCr靶材，钛鋁合金靶材，TiAl靶材，銅铟镓合金靶材，CuInGa靶材，銅铟镓硒合金靶材，CuInGaSe靶材，鋅鋁合金靶材，ZnAl靶材，鋁矽合金靶材，AlSi靶材等金屬鍍膜材料。
