(1) density，這個是最主要的(de)，好的(de)靶密度至少達到97%以上，所以大家買回靶來以後可(kě)以根據重量體積來計算一(yī)下你們的(de)靶的(de)密度和(hé)理(lǐ)論塊體的(de)密度的(de)比例有多少，低(dī)于90%的(de)退貨。
(2) 開裂問題，套磁靶很容易開裂，所以大家一(yī)定要求用cu的(de)背闆，這個是必須的(de)，另外靶材不宜太厚，小于5mm最好了。金屬靶是不大會開裂的(de)，否則它的(de)密度肯定很差。
(3) 電導率，對于AZO， ITO靶材來說，買回來了可(kě)以測測他們的(de)電導率是多少，不同公司用的(de)粉不同，電導率有很大差别，越小你 做(zuò)出來的(de)膜導電性肯定越好了。否則你死活都做(zuò)不出你需要的(de)電阻率的(de)。
好的(de)AZO靶材的(de)AZO粉很重要，最好的(de)是用純的(de)AZO粉，但是價格很貴，而且工藝比較複雜，這樣的(de)靶材做(zuò)出來的(de)膜電阻率最好。
目前國內(nèi)主要是采用ZnO和(hé)Al2O3粉摻在一(yī)起做(zuò)，但是問題是Al很難摻雜進ZnO中，所以電阻率不大好。ITO相類似。
建議靶材不要自(zì)己做(zuò)，還是花錢買些大公司的(de)靶材。你自(zì)己做(zuò)一(yī)方面浪費時間，另外一(yī)方面你距離(lí)真正的(de)好地(dì)靶材的(de)距離(lí)太遠了，目前你的(de)條件完全不可(kě)能實現。
